第321章 滬上和東江為爭(zhēng)奪華芯打起來啦
這可不是陳平江瞎估計(jì),臺(tái)積電2016年在南京設(shè)立的全資子公司就投資了30億美金。
當(dāng)然了,臺(tái)積電的設(shè)備里包含了最先進(jìn)的EUV(極紫),而現(xiàn)在這個(gè)節(jié)點(diǎn)全世界只能買到DUV(深紫),但人家臺(tái)積電是老手,華芯只是個(gè)新徒弟什么都要學(xué),都會(huì)產(chǎn)生成本。
甚至可能買設(shè)備都要被宰。
其中建設(shè)成本是大頭,包括設(shè)備購(gòu)置、廠房建設(shè)、人員培訓(xùn)、技術(shù)研發(fā)等。不同環(huán)節(jié)的成本因技術(shù)難度、市場(chǎng)需求和地域差異等因素而有所不同,此外還有產(chǎn)品良率的問題。
總體而言,晶圓廠建設(shè)成本較高,但隨著技術(shù)進(jìn)步和市場(chǎng)規(guī)模的擴(kuò)大,成本也會(huì)逐漸降低。
其中,廠房建設(shè)需要考慮地理位置、環(huán)保要求、安全標(biāo)準(zhǔn)等因素。
而制造設(shè)備具體又包括氧化爐、CVD設(shè)備、PVD設(shè)備、真空蒸鍍?cè)O(shè)備、MBE設(shè)備、液相外延設(shè)備、ALD設(shè)備、電化學(xué)鍍膜設(shè)備、涂膠設(shè)備、曝光機(jī)、顯影設(shè)備、光刻機(jī)、干法蝕刻設(shè)備、濕法蝕刻設(shè)備、CMP設(shè)備、離子注入機(jī)、清洗設(shè)備等。
這些設(shè)備分別負(fù)責(zé)晶圓的氧化、沉積、光刻、刻蝕、離子注入/擴(kuò)散等步驟。
現(xiàn)在才2011年,類似北方華創(chuàng)、中微半導(dǎo)體、中電48所、中電45所等一系列的國(guó)內(nèi)設(shè)備商才剛剛起步。
想買只能找國(guó)外。
在制造過程中,最主要、價(jià)值最昂貴的三類分別是沉積設(shè)備,包括PECVD,LPCVD等、刻蝕設(shè)備、光刻機(jī),占半導(dǎo)體晶圓廠設(shè)備總投資的15%、15%、20-25%。
幾乎壟斷了高端光刻市場(chǎng)份額高達(dá)80%的ASML,在CVD設(shè)備和PVD設(shè)備領(lǐng)域都保持領(lǐng)先的美國(guó)應(yīng)用材料(AMAT)以及刻蝕機(jī)設(shè)備領(lǐng)域龍頭Lam Research穩(wěn)坐前三。
想買,而且買好的,繞不開他們。當(dāng)然有些設(shè)備也可以去找小日子的尼康、DNS、日立高新去買。
其中,國(guó)人最熟悉的莫過于光刻機(jī)和其主要生產(chǎn)商ASML。
光刻機(jī)的作用說的簡(jiǎn)單點(diǎn),就是通過一系列的手段,將線路圖成比例縮小后照射到硅片上,然后顯影,最終得到在硅片上的電路圖。
經(jīng)過一次光刻的芯片可以繼續(xù)涂膠、曝光。越復(fù)雜的芯片,線路圖的層數(shù)越多,也需要更精密的曝光控制過程。
后來華為的那張麒麟9000S,就是用了多重曝光的技術(shù)。