第324章 工廠奠基,購買光刻機(jī)
張老道:“我認(rèn)為我們應(yīng)該先從IBM那里通過技術(shù)轉(zhuǎn)移或者合作的方式拿到40納米和32納米的授權(quán),然后把研發(fā)重心放在32納米上,盡早實(shí)現(xiàn)40納米的量產(chǎn),這樣既能夠積累客源,也能夠減少公司的運(yùn)營壓力?!?br/>
陳平江點(diǎn)點(diǎn)頭,轉(zhuǎn)而問梁老:“您怎么看?”
梁孟松笑著道:“老張和我的想法一樣?!?br/>
“28納米不嘗試下嗎?”陳平江好奇問。
“呃……”二老你看看我,我看看你,苦笑一聲。
“我們能在最短時間內(nèi)突破32納米就不錯了,至于28納米想都不敢想,目前應(yīng)該也只有臺積電,在研發(fā)上比較領(lǐng)先,有望今年量產(chǎn)。”
張老也道:“主要是太難了?!?br/>
在這個時間節(jié)點(diǎn)上28納米就是最先進(jìn)的,是這個年代的先進(jìn)制程。
28納米就是一個大節(jié)點(diǎn)。與40納米工藝相比,28納米柵密度更高、晶體管的速度提升了約50%,每次開關(guān)時的能耗則減小了50%。
陳平江在腦海里想了想措辭:“我之前有了解過曝光技術(shù)。當(dāng)時很好奇為什么不通過多次曝光來提升光刻的效率和精確度?!?br/>
多重曝光即用多個掩膜板,在同一塊晶圓上進(jìn)行多次光刻操作,將不同的圖案疊加在一起,形成更細(xì)微的圖案。這相當(dāng)于用多個膠片拼接出一個更精細(xì)的圖像。
梁老笑著道:“看來平江你的確了解過,不過你了解的可能不全面,行業(yè)里面倒是聽過有兩次曝光的,但多次的話,估計還真沒有。不是說做不到,而是生產(chǎn)出來的芯片良率過低,成本過高,最終得不償失。假設(shè)我們一次曝光的良率和臺積電相同,都能達(dá)到90%,經(jīng)過四次曝光后的芯片良率為0.9×0.9×0.9×0.9,也就是65%?!?br/>
“這個良品率太低了,我們得賣什么樣的價格給客戶?客戶最終又接受不接受我們的價格?所以說還不如買最新的DUV光刻機(jī)經(jīng)過一次曝光?!?br/>
陳平江笑著點(diǎn)頭,“我就是隨口說說。假如先用一個掩膜板,在晶圓上刻出一個較粗糙的圖案,然后在圖案上覆蓋一層如氧化硅,再用另一個掩膜板,在硬質(zhì)材料上刻出一個較細(xì)致的圖案。最后去掉硬質(zhì)材料和多余的部分,只留下最終想要的圖案。這相當(dāng)于用兩個膠片分別放大和縮小一個圖像,再將它們重合在一起?!?br/>
“當(dāng)然了,我們就是瞎聊,我也不懂,二老不要笑話我才好。”
誰知道陳平江剛剛說完,張汝京和梁孟松嘴巴張得老大,一副看怪物的模樣看著陳平江。
“這是別人和你說的還是你想到的?”